一、产品简介

AS200系列气体质量流量控制器，适用于多种常规气体，提高了气体质量流量控制测量结果的准确度及可靠性。重复精度高达±0.2%F.S.；1×10 -10 Pa·m3 /sec He的低泄露率，气密性好，保障生产安全；可支持多种信号输出，包括数字信号、1～5V 模拟信号以及4～20mA模拟信号，可以使用单电源（+15～+28 VDC），适用于不同的工作场景；标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利；同时，产品还提供功能强大的免费客户端上位机软件，方便用户调试操作。 

AS200系列产品是奥松电子采用先进的MEMS技术研发，在传感器的驱动，零点漂移的控制和阀控等诸多方面都采用了独特的技术，保证了产品的高性能、高品质和高可靠性，是一款稳定性好、精度高、泄漏率低、耐压高的优质仪器。 

二、产品亮点

● 可同时支持数字信号，1～5V 或4～20mA模拟信号

● 使用单电源（+15～+28 VDC）

● 支持自动故障报警，多气体多量程等功能

三、应用场景

AS200系列气体质量流量控制器（MFC），主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括：集成电路工艺设备，如外延、扩散、等离子刻蚀、溅射、离子注入和各种CVD等设备；其他行业设备，如光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器等。